1.5±μm
600*600≥mm
振鏡聯(lián)動(dòng)掃描系統(tǒng)使振鏡加工范圍無限擴(kuò)展成為可能。LrLaser-6060通過機(jī)床軸運(yùn)動(dòng)與振鏡掃描運(yùn)動(dòng)，形成聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)軌跡，擴(kuò)展了激光掃描系統(tǒng)的工作區(qū)，提供清晰的激光加工優(yōu)勢(shì)。相比于傳統(tǒng)的振鏡與平臺(tái)獨(dú)立控制系統(tǒng)，振鏡聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)能夠大幅度提升激光加工效率及精度，實(shí)測(cè)最高效率提升40%，整體精度能夠控制在5um以內(nèi)。
? 全閉環(huán)掃描振鏡及伺服系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)控制
? 無限視野范圍軌跡無縫結(jié)合
? 數(shù)字化掃描控制系統(tǒng)+PSO位置同步輸出，零延遲
? 應(yīng)用于大面積復(fù)雜軌跡的連續(xù)激光微加工
? 自主開發(fā)的激光控制系統(tǒng)
| 驅(qū)動(dòng)器方式 | 振鏡+伺服軸運(yùn)動(dòng)控制 | 信號(hào)傳輸 | EtherCAT，支持振鏡XY2-100 |
| 有效范圍 | 600mm×600mm或以上 | 定位精度 | ±1.5um |
| 功率控制 | PSO等間距激光功率控制 | 波長(zhǎng)范圍 | 343 nm到10.6μm |
| 激光器類型 | 適用于短脈沖PS和FS等超快激光器 |
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